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醫學科技的日新月異，使得各種精密儀器和設備被逐步推廣應用 ，而這些設備往往因無法耐受高溫而不能進行高溫滅菌。為了解決這一問題 ，各種低溫滅菌方法逐漸產生 ，如環氧乙烷（ＥＯ） 低溫滅菌器、過氧化氫等離子體（ｐｌａｓｍａ）滅菌器、低溫蒸汽甲醛滅菌器（ＬＴＳＦ），被廣泛應用于臨床。
環氧乙烷低溫滅菌系統可分為混合氣體和 １００ ％純環氧乙烷低溫滅菌系統兩種，使用的全部為１００ ％純環氧乙烷低溫滅菌系統。
１． 滅菌機制：環氧乙烷對細菌（包括結核桿菌） 、芽孢、真菌、立克次體及病毒等各種微生物均具有殺滅作用 ，屬于廣譜殺菌劑。其滅菌機制是與細菌蛋白質分子、酶、核酸中的氨基、羥基、羧基或巰基相結合 ，對菌體細胞的代謝產生不可逆的破壞 ，從而達到滅菌作用。
２． 優點：
①環氧乙烷被認為是滅菌效果最好的化學滅菌劑 ，可殺滅包括細菌芽孢在內的所有微生物；
②穿透性強 ，可用于各種難通透部位的滅菌 ，如有些較細、較長的導管 ， 用其他滅菌方法很難達到滅菌效果 ，只能用環氧乙烷低溫滅菌或輻照；
③環氧乙烷殺滅微生物是利用烷基化原理 ，而非氧化過程 ，所以對物品損壞小 ，對不耐熱精密儀器滅菌有著非常廣泛的用途；
④滅菌物品保存時間長 ，可長達 ３３６ ｄ ；
⑤滅菌時可用各種包裝材料包裹 ，便于儲存、運輸 ，打開包裹即可使用；
⑥有完善的化學、生物監測手段 ，從而可以有效地控制滅菌質量 ，及時發現滅菌失敗的包裹。
３． 缺點：
①由于需要較長的通風時間 ，以去除環氧乙烷的殘留 ，整個滅菌循環時間較長 ，一般需要１０ｈ以上；
②環氧乙烷有毒 ，是可疑致癌物 ， 應將室內空氣中的濃度控制在國家規定的標準之內 ，而且需要定期對周圍環境進行檢測 ，對工作人員進行查體與跟蹤記錄；
③環氧乙烷易燃易爆 ，儲存和滅菌時絕不能泄漏 ，必須選擇安全的滅菌器 ，進行安全操作和儲存；
④由于其所需的凈化過程、專門的排放系統、環境的定期檢測以及員工的定期查體與跟蹤記錄等 ，其成本相對較高。
